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理解和緩解光子網(wǎng)絡(luò)芯片中的VBTI老化效應(yīng)

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引言隨著芯片架構(gòu)向著數(shù)百個(gè)處理核心的多核方向發(fā)展,傳統(tǒng)的電子網(wǎng)絡(luò)芯片(ENoCs)在滿足不斷增加的核心間通信需求方面面臨挑戰(zhàn)。光子網(wǎng)絡(luò)芯片(PNoCs)作為一種有前途的替代方案出現(xiàn),提供了接近光速的信號(hào)傳播、高帶寬密度和低動(dòng)態(tài)功耗等優(yōu)勢(shì)。然而,PNoCs也面臨自身的挑戰(zhàn)。影響PNoCs長期可靠性和能源效率的一個(gè)關(guān)鍵問題是微環(huán)諧振器(MRs)的電壓偏置溫度誘導(dǎo)(VBTI)老化,這些MRs是光子鏈路中的關(guān)鍵組件。
" v% H8 b4 e  ?
" D: F+ }% ^& z" z, ~/ G( _- w本文概述了PNoCs中的VBTI老化效應(yīng),解釋了其對(duì)系統(tǒng)性能和能源效率的影響,并討論了緩解技術(shù),重點(diǎn)關(guān)注4脈沖幅度調(diào)制(4-PAM)信號(hào)作為一種主動(dòng)解決方案。. T, u8 s1 e: A. X/ U( E

. Q, H; k6 v! m" Z  B# ?微環(huán)諧振器中的VBTI老化機(jī)制* I* M/ V* L8 S* C2 C
微環(huán)諧振器是PNoCs中用作調(diào)制器、接收器和開關(guān)的緊湊型、波長選擇性器件。在硅核中包含一個(gè)PN結(jié),在周圍的二氧化硅包層中包含一個(gè)微加熱器。MR的共振波長可以通過操縱PN結(jié)的電壓偏置來改變自由載流子濃度,或通過操縱微加熱器的電壓偏置來改變局部溫度進(jìn)行調(diào)整。
! {, ?7 K( r1 { $ R" t& z& i3 }- }) w: j3 T
圖1:具有PN結(jié)的可調(diào)諧MR橫截面,用于通過電壓偏置實(shí)現(xiàn)載流子注入和耗盡。8 @+ C/ \5 A0 d3 }

; M& T1 V' `( G  V% y! g# r! y) |當(dāng)在MR的PN結(jié)上施加負(fù)電壓時(shí),會(huì)在Si-SiO2界面產(chǎn)生電場(chǎng)。這個(gè)電場(chǎng)與熱變化相結(jié)合,隨時(shí)間推移導(dǎo)致在這些界面上產(chǎn)生陷阱,類似于MOSFET中的老化過程。這種現(xiàn)象被稱為VBTI老化。
6 Y8 c, r5 H  X) b) g* N& ^( o) `" `* i2 U2 Z
陷阱生成機(jī)制可以用以下化學(xué)反應(yīng)表示:$ W% o; I! \. F/ ]1 ?

9 o# R/ H! U* Z- S$ dSi-H + h+ → Si* + H
/ K8 U+ W5 D! t' m3 c- a8 {$ F2 F. R' L  W
其中h+代表MR的Si核中的空穴,Si-H是硅-氫鍵,Si*是產(chǎn)生的硅懸掛鍵,作為類似施主的界面陷阱。
9 T/ m; J/ e. t$ Z+ g7 o) }# E
$ \1 L5 c- J6 a( |8 uVBTI老化對(duì)MR特性的影響, t% @  U7 g$ `, G, d
VBTI老化主要通過兩種方式影響MR特性:
  • 共振紅移:隨著界面陷阱增加,MR核心中的空穴濃度減少,導(dǎo)致核心的折射率增加。這導(dǎo)致MR的共振波長發(fā)生紅移。
  • 共振通帶展寬:MR核心與周圍環(huán)境之間折射率對(duì)比度的增加導(dǎo)致光散射損失增加,從而導(dǎo)致MR的Q因子降低(即共振通帶寬度增加)。
    & c& y3 P: n& Z: P' Q2 ?+ I: [[/ol]0 r6 P% @* T) S, y( T4 h0 T

    ; Y9 q! A" f5 h, L
    . S! ?6 }! I3 J; L6 A( h5 g6 }圖2:在三個(gè)工作溫度300 K、350 K和400 K下,共振波長紅移(ΔλRWRS)和QA隨時(shí)間的變化。* r2 u  M; i! y$ `5 T
    ; w5 }* G0 m" P- V' T
    ' L( g0 ]$ O0 b" C4 n9 E3 o, U  C
    圖3:在四個(gè)偏置電壓-2 V、-4 V、-6 V和-8 V下,QA和共振波長紅移(ΔλRWRS)隨工作時(shí)間的變化。$ b7 }. u7 M5 Q

    # G) |. ~. y$ |, T+ O9 C4 R這些圖表顯示,更高的工作溫度和電壓偏置水平會(huì)加速M(fèi)Rs中的VBTI老化。  P4 M- G# w+ A9 B. R% [

    / i* `2 ]& s4 ^0 d& C+ l/ x. GVBTI老化對(duì)基于DWDM的OOK鏈路的影響  `5 C! ?0 B1 ]1 l) r% L
    為了理解VBTI老化對(duì)基于密集波分復(fù)用(DWDM)的開關(guān)鍵控(OOK)鏈路的影響,我們需要檢查源節(jié)點(diǎn)和目標(biāo)節(jié)點(diǎn)的效應(yīng)。, t# |5 d& M  E% s! h) l* [% ^
    " z. v+ A. n+ A
    在源節(jié)點(diǎn):& i( N* ^# m( _: e) H2 R
    2 `0 B- K# W; g4 G; q3 w
    圖4說明:頻域中示例源節(jié)點(diǎn)的圖示(a)老化前和(b)老化后。) u( T  A1 S' x5 L

    ! R/ m5 S# l: i2 J3 P( HVBTI老化導(dǎo)致調(diào)制器MRs的共振發(fā)生紅移并增加通帶寬度。這導(dǎo)致信號(hào)頻譜與MRs共振波長之間的不對(duì)準(zhǔn),從而導(dǎo)致調(diào)制效率降低和互調(diào)串?dāng)_增加。
    ; k: E8 A1 g& @# T; H5 }" X: C8 P( u0 C7 T' a6 b
    在目標(biāo)節(jié)點(diǎn):
    ; w% P1 B% f" N! @1 [
    0 i) I+ }6 r$ v  {8 _/ j2 i5 C, j圖5:頻域中示例目標(biāo)節(jié)點(diǎn)的圖示(a)老化前和(b)老化后。7 X2 k9 O) X! Q* c+ x* K# Q1 E

    6 p( Y2 ], h0 w+ B$ v+ u9 q) X老化引起的接收器MRs變化加劇了兩種現(xiàn)象:
  • 信號(hào)側(cè)帶截?cái)啵?/strong>MR通帶與信號(hào)頻譜之間的不完全頻譜重疊。
  • 外差串?dāng)_:MR通帶與相鄰非共振信號(hào)頻譜的部分重疊。
    7 o& s9 n. C7 U( H[/ol]1 X/ q3 M( [3 Z4 I. N; ?
    這些效應(yīng)導(dǎo)致信號(hào)退化和濾波/接收光信號(hào)的平均頻譜功率衰減。$ m: s3 M6 G9 Q7 S  e6 _+ k
    # K( L$ u. i( `  j3 V& T
    緩解VBTI老化影響4 t& T: n0 g1 J6 X, |% ?
    有兩種主要方法來緩解VBTI老化影響:反應(yīng)式和主動(dòng)式技術(shù)。
    ! x% L" K  k/ p) S5 H5 o; r' o! ^& }( U1 _
    1. 反應(yīng)式緩解:1 F& y. y2 L% v
  • 局部修整:這種技術(shù)可以通過在MRs共振中引入藍(lán)移來抵消老化引起的共振紅移。但是,可能會(huì)導(dǎo)致MR通帶進(jìn)一步展寬。
  • 串?dāng)_緩解技術(shù):先前的工作提出了各種方法,但通常會(huì)帶來顯著的性能和/或面積開銷。
    % q4 v0 R9 b' t, _, I. {. G# n# I

    9 E$ D. B1 g# ^2 w5 }/ I2. 主動(dòng)緩解:4-PAM信號(hào)
    ' B4 q+ n" H( W2 z4-PAM信號(hào)作為一種有前途的低開銷技術(shù),可主動(dòng)緩解VBTI老化影響。
    ! Z8 ~/ H! H1 p! I, m; w, Z7 H. [4 F% c
    ' ?5 f  D, g1 [
    圖6:(a)開關(guān)鍵控(OOK)信號(hào)方法和(b)四脈沖幅度調(diào)制(4-PAM)信號(hào)方法的時(shí)域表示圖示。8 I3 w. [( X3 X4 G. O3 S
    # g: o3 U1 U7 n# ?0 f
    4-PAM使用四個(gè)光傳輸級(jí)別在一個(gè)數(shù)據(jù)符號(hào)中表示兩位信息,在給定信號(hào)波特率的情況下,有效地將帶寬翻倍。
    6 v; s+ V' b+ l: z  h& V+ \  w
    9 R& \  I. J4 ?- o# o' L' A4 S8 n7 P" Z. k% e9 W

    & }# n+ K2 |+ l+ @0 i2 l! J9 }+ K圖7:頻域中(a)基于OOK和(b)基于4-PAM的目標(biāo)節(jié)點(diǎn)圖示。! C' i7 M# M8 X* l
    9 S; V% s0 \6 R' S  s
    4-PAM信號(hào)在緩解VBTI老化效應(yīng)方面的主要優(yōu)勢(shì)是:
    * t8 c. R' l5 w
  • 更寬的信道間隔:4-PAM允許相鄰波長信道之間的信道間隔增加兩倍,自然最小化外差串?dāng)_。
  • 主動(dòng)防范串?dāng)_:更寬的間隔為VBTI老化引起的MRs共振通帶展寬所導(dǎo)致的加劇串?dāng)_效應(yīng)提供了緩沖。/ x1 H, q% x+ A* J; s2 U5 C7 V% M$ M

    + E, z% Y- `7 c2 z6 ~3 g評(píng)估結(jié)果
    ! f! K6 D; G0 }  V" L  v為了展示4-PAM信號(hào)在緩解VBTI老化影響方面的有效性,比較了CLOS PNoC架構(gòu)的兩種變體:CLOS-OOK(使用傳統(tǒng)OOK信號(hào))和CLOS-4PAM(使用4-PAM信號(hào))。. Y3 P. T& p! d. W. A* p1 N

    6 L$ M; O4 P/ b- N( I3 Z- I
    & l$ u/ W3 S, m圖8:CLOS-OOK和CLOS-4PAM PNoCs在1年、3年和5年老化后在100個(gè)PV圖上的最壞情況信號(hào)功率損失。% w9 i. E; r0 B9 T
    6 r+ G  r# o' m" p/ i) H
    主要觀察結(jié)果:
    * c  ^( h& M* |
  • VBTI老化隨時(shí)間增加CLOS-OOK和CLOS-4PAM PNoCs的最壞情況信號(hào)功率損失。
  • 在老化條件下,CLOS-4PAM PNoC始終表現(xiàn)出比CLOS-OOK PNoC更低的信號(hào)功率損失。# ~% l1 ], K0 o9 E# j* Y1 C" C

    3 L6 E4 X9 o# u8 G: f& y
    8 s* o  A: Q9 S1 h9 |0 \4 G ) q, d" Q5 E8 }
    圖9:基線CLOS-OOK和CLOS-4PAM PNoCs與經(jīng)過3年VBTI老化的變體在PARSEC基準(zhǔn)測(cè)試中考慮100個(gè)PV圖的每比特能耗(EPB)比較。
    ! l& F) i, E& w5 X% ]
    5 ~! O' x  o; c; Y9 A+ c ; X0 S& F( c* }. T; V5 g
    圖10:基線CLOS-OOK和CLOS-4PAM PNoCs與經(jīng)過5年VBTI老化的變體在PARSEC基準(zhǔn)測(cè)試中考慮100個(gè)PV圖的每比特能耗(EPB)比較。
    / @7 q+ ~2 A$ e+ g0 u$ O  r% h! p* t; q; F/ ^
    這些結(jié)果表明:) x& C5 n4 o2 \% G5 }4 D
  • VBTI老化增加了CLOS-OOK和CLOS-4PAM PNoCs的每比特能耗(EPB)。
  • 經(jīng)過3年VBTI老化的CLOS-4PAM PNoC比未經(jīng)老化的基線CLOS-OOK PNoC實(shí)現(xiàn)了5.5%更好的能源效率。
    % U1 R& E. ]9 j5 p
    + f$ T: s  E* W- O3 e/ ?
    結(jié)論
    ; K: G* Q- T0 M, n7 a* _4 o, nVBTI老化對(duì)光子網(wǎng)絡(luò)芯片的長期可靠性和能源效率構(gòu)成了重大挑戰(zhàn)。通過理解VBTI老化的基本機(jī)制和影響,我們可以制定有效的緩解策略。4-PAM信號(hào)的使用成為一種有前途的主動(dòng)解決方案,即使在多年老化后,仍能提供比傳統(tǒng)基于OOK的架構(gòu)更好的能源效率。隨著我們繼續(xù)推動(dòng)多核芯片設(shè)計(jì)的邊界,解決VBTI老化等可靠性挑戰(zhàn)對(duì)于光互連技術(shù)的廣泛采用將至為重要。
    # W: S. Q1 z0 }* x6 M9 M9 W  p
    * @7 Y1 i, z: V參考文獻(xiàn)
    * p  U7 g, [3 X* o. `5 g[1] M. Nikdast, S. Pasricha, G. Nicolescu, and A. Seyedi, Eds., Silicon Photonics for High-Performance Computing and Beyond, 1st ed. Boca Raton, FL, USA: CRC Press, 2021.4 c- |1 z+ N/ g! I% e/ g
    6 _6 r4 y- _5 t/ x" _8 f
    END
    7 D9 k- H4 R8 h4 j0 a$ V% o

    ; x6 O: S3 n8 [3 U- n. z$ n% s7 A1 `4 v: l7 z. L
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    * c" g7 m1 x0 y9 {2 X
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    深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對(duì)光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動(dòng)特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。
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