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認(rèn)識(shí)陶瓷線路板之金錫合金工藝

已有 182 次閱讀2023-5-18 11:37 | 金錫合金, 陶瓷線路板

認(rèn)識(shí)陶瓷線路板之金錫合金工藝

 

什么是金錫或金錫合金?

38°C 的極低熔點(diǎn)到超過 1000°C 的極高釬焊熔點(diǎn),實(shí)際上有數(shù)百種焊料合金可供選擇。然而,有一種合金特別突出,并且最常被大多數(shù)用戶用于芯片連接和蓋子密封應(yīng)用。這種合金是金錫合金,按質(zhì)量計(jì)含有 80% 的金 (Au) 和 20% 的錫 (Sn),是一種共晶合金,這意味著熔點(diǎn)與固點(diǎn) (278°C相同。金錫是微電子行業(yè)用于芯片連接和蓋子密封的主力。 


上圖銀色為金錫合金

 

為什么金錫要求金和錫的質(zhì)量比

錫含量為 18% 時(shí),熔點(diǎn)升至 370°C ,錫含量為 17% 時(shí),熔點(diǎn)升至 400°C


(圖片來源于百度百科)

常見的金錫合金材料有哪些?各自優(yōu)劣勢對(duì)比?

金錫墊片、金錫焊料和金錫合金薄膜都是用于半導(dǎo)體激光器封裝中實(shí)現(xiàn)金錫合金的材料或工藝。它們各有優(yōu)缺點(diǎn),其主要區(qū)別在于其材料形態(tài)和工藝應(yīng)用。

 

原理

優(yōu)勢

劣勢

厚度、精度

金錫墊片

是一種機(jī)械連接方式,通過將金錫墊片放置在芯片和散熱器之間,使用一定的力量將其壓縮,從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器與散熱器之間的機(jī)械連接

具有低溫度下連接和高可靠性的優(yōu)點(diǎn)

其制造和連接需要高精度設(shè)備,并且需要很高的力量來壓縮,可能會(huì)對(duì)芯片產(chǎn)生壓力

一般在幾十微米到數(shù)百微米之間,精度要求相對(duì)較低

金錫焊料

將金錫合金熔化后,涂在芯片和散熱器之間進(jìn)行連接的方法

具有低溫度下連接和成本低的優(yōu)點(diǎn)

焊接溫度高,容易引起芯片應(yīng)力,同時(shí),金錫焊料的熔點(diǎn)較低,容易被高溫?zé)嵫h(huán)所破壞

 

金錫合金薄膜

采用物理氣相沉積(PVD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)等工藝在芯片和散熱器之間形成金錫合金薄膜進(jìn)行連接的方法

具有高溫度下連接和高可靠性的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)具有良好導(dǎo)熱性能和低電阻

制造需要高昂的設(shè)備和制程費(fèi)用

一般在數(shù)百納米到數(shù)微米之間,精度要求在幾個(gè)納米左右

 

金錫合金薄膜制備工藝有哪幾種?優(yōu)劣勢對(duì)比?

包括真空蒸鍍和電鍍金錫兩種工藝。

 

優(yōu)勢

劣勢

真空蒸鍍

沉積金錫合金的膜質(zhì)量較高,厚度均勻,成膜率高。

沉積過程無化學(xué)藥品參與,環(huán)保性好。

沉積金錫合金可以在高溫環(huán)境下進(jìn)行,適用于制備一些高溫工作的器件

沉積金錫合金需要比電鍍工藝更專業(yè)的設(shè)備和技術(shù),成本較高。

沉積金錫合金無法對(duì)非導(dǎo)電材料表面進(jìn)行制備。

沉積過程中需要對(duì)氣氛進(jìn)行控制,易受外界干擾

電鍍金錫

一種成本較低的加工方式,可以大批量生產(chǎn)

可以在各種材料表面上制備金屬薄膜,具有很好的通用性。

可以控制金錫合金的厚度和形狀,具有較高的加工精度。

電鍍金錫合金的膜質(zhì)量和成膜率受到電極和電解液的質(zhì)量影響,易出現(xiàn)膜內(nèi)氣泡、缺陷等問題;

環(huán)保問題

過渡層

通常需要先在基材表面沉積過渡層,以提高金錫合金層的附著力和穩(wěn)定性。常用的過渡層材料包括鉻、鉬、鈦、銅等,這些材料的選擇取決于基材材料和金錫合金材料。例如,在氮化鎵基材上沉積金錫合金層時(shí),通常需要先沉積鉻或鈦?zhàn)鳛檫^渡層,以提高金錫合金層的附著力和穩(wěn)定性。

 

蒸發(fā)鍍溫度

一般在170°C到400°C之間。溫度過高可能會(huì)導(dǎo)致金錫合金熔化或與襯底反應(yīng),影響器件性能;溫度過低可能會(huì)導(dǎo)致金錫合金的結(jié)晶度不足,影響結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和電學(xué)性能。

 

蒸發(fā)鍍金錫合金薄膜前清洗工藝流程 

1.超聲波清洗:將熱沉片放入超聲波清洗器中,使用去離子水或有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗,去除表面的有機(jī)污染物和粉塵等雜質(zhì)。清洗時(shí)間和溫度取決于具體清洗溶劑和清洗要求,一般在幾分鐘到半小時(shí)之間。

2.酸洗:將熱沉片放入酸性清洗液中,如鹽酸、硝酸等,去除表面的氧化物和金屬離子等雜質(zhì)。酸洗時(shí)間和溫度也取決于具體的清洗液和清洗要求,一般在幾分鐘到數(shù)小時(shí)之間。

3.去離子水清洗:將熱沉片放入去離子水中,徹底清洗掉表面的酸性清洗液和金屬離子殘留。清洗時(shí)間和溫度根據(jù)具體要求,一般在幾分鐘到半小時(shí)之間。

4.烘干:將清洗好的熱沉片放入烘箱中,去除表面的水分和殘留的溶劑,通常在100℃到170℃之間烘干數(shù)分鐘。

清洗設(shè)備通常是超聲波清洗器和酸洗槽,清洗液根據(jù)具體要求可選擇有機(jī)溶劑或酸性溶液,溫度根據(jù)清洗液選擇,一般在室溫到70℃之間。

 

蒸發(fā)鍍金錫合金薄膜后退火工藝流程 

進(jìn)行退火處理以改善其結(jié)晶度、提高粘附力、減少氫氣的殘留等。退火的工藝流程通常如下:

1.將沉積好的金錫合金薄膜樣品放入退火爐中,并排除爐內(nèi)空氣,建立真空環(huán)境。

2.將樣品加熱至一定溫度,通常在170℃到400℃之間,退火時(shí)間通常為幾十分鐘到數(shù)小時(shí)不等。在這個(gè)過程中,金錫合金薄膜中的金屬原子和錫原子將重新排列,使其結(jié)晶度提高,并減少氫氣的殘留。

3.在退火結(jié)束后,將樣品從爐子中取出,冷卻至室溫。退火后的金錫合金薄膜將具有更好的晶體結(jié)構(gòu),更好的表面平整度和更高的粘附力,從而有助于提高半導(dǎo)體激光器的性能。

退火通常采用的設(shè)備是退火爐,可以根據(jù)具體要求選擇不同類型的爐子,如氣氛爐、真空爐等。

 

金錫合金薄膜圖形化是怎么做出來的 

2種方法,一是用光刻技術(shù),一是用掩膜版

方法一:用光刻技術(shù)的工藝流程:

光刻膠涂覆:將光刻膠涂覆在熱沉片表面,形成一層光刻膠膜。

硬烤:將光刻膠進(jìn)行硬烤,使其形成穩(wěn)定的圖形化形態(tài)。

曝光:將光刻膠膜曝光,根據(jù)需要的圖形進(jìn)行曝光。

顯影:用顯影液將未曝光的光刻膠溶解掉,形成所需的光刻膠模板。

金錫合金薄膜沉積:將金錫合金沉積到光刻膠模板上,形成所需的金錫合金膜。

(通常在200℃左右,光刻膠耐得。

剝離:用相應(yīng)的溶劑將光刻膠模板剝離,形成最終所需的金錫合金薄膜圖形。

這個(gè)過程需要使用一系列的設(shè)備和化學(xué)藥劑,包括光刻機(jī)、烤箱、顯影儀、溶劑等。

方法二:掩膜版

將掩膜與待加工物件緊密結(jié)合,使得掩膜上所呈現(xiàn)出來的圖形能夠準(zhǔn)確地復(fù)制到待加工物件上。優(yōu)點(diǎn)是制作工藝簡單,成本低,適用于較大的加工區(qū)域;缺點(diǎn)是掩膜加工周期長,一般需要使用光刻工藝制備掩膜,并且難以實(shí)現(xiàn)高分辨率的圖形化。掩膜版的材質(zhì)常見的有石英、玻璃、金屬、聚合物等

 

沉積金錫合金薄膜的時(shí)間會(huì)因設(shè)備不同而有所差異,一般在數(shù)分鐘至數(shù)十分鐘不等。真空度則通常在10^-7 Torr左右,這有助于避免空氣中的雜質(zhì)對(duì)沉積過程的干擾。

 

沉積金錫合金薄膜后,有哪些檢驗(yàn)手段

掃描電子顯微鏡(SEM)觀察:通過SEM可以觀察薄膜的表面形貌和厚度,以及薄膜與基材結(jié)合情況。

X射線衍射(XRD)分析:通過XRD可以確定金錫合金的晶體結(jié)構(gòu)和晶面取向,以及薄膜中可能存在的雜相和缺陷等。

X射線熒光光譜(XRF)分析:通過XRF可以檢測金錫合金薄膜中各元素的含量和比例,以確定薄膜的組成。

薄膜厚度測試:可以使用薄膜厚度儀等儀器來測量薄膜的厚度,以確保薄膜符合要求。

剝離測試:使用黏度計(jì)等儀器來測試金錫合金薄膜與基材的結(jié)合力,以確保薄膜牢固地附著在基材上。

 

 

金錫合金陶瓷線路板目前最有實(shí)力的前十位公司如下

NGK火花塞有限公司庫爾斯特克公司、京瓷公司、馬魯瓦有限公司、太洋集團(tuán)有限公司、村田制造有限公司、TDK公司、羅杰斯公司三星機(jī)電公司股份有限公司、賀利氏控股有限公司。

其中,NGK火花塞有限公司. 和 庫爾斯特克公司.是市場占有率較高的公司,分別占據(jù)了市場份額的30%-40%。

 市場規(guī)模

根據(jù)市場調(diào)研數(shù)據(jù)分析,2019年全球金錫合金陶瓷線路板市場規(guī)模約為15億美元。隨著電子產(chǎn)品的普及和相關(guān)技術(shù)的不斷發(fā)展,市場規(guī)模預(yù)計(jì)將會(huì)增加。2025年市場規(guī)模預(yù)計(jì)增至20億美元,年復(fù)合增長率為4.2%。

 行業(yè)趨勢

1)Miniaturization and High Frequency

隨著科技的發(fā)展,電子產(chǎn)品不斷小型化和向高頻高速方向邁進(jìn),這就對(duì)于金錫合金陶瓷線路板的設(shè)計(jì)和制造提出了更高的要求。未來金錫合金陶瓷線路板需要具備高品質(zhì)、高集成度、低失真等多項(xiàng)特性,以滿足市場需求。

 

2)5G

5G通信技術(shù)的應(yīng)用日益廣泛,對(duì)于高速陶瓷線路板的需求也越來越大。金錫合金陶瓷線路板具備優(yōu)秀的射頻性能和高集成度,因此在5G通信設(shè)備的制造中,也會(huì)得到廣泛應(yīng)用。

3)環(huán)保

現(xiàn)在市場對(duì)于環(huán)保的需求越來越高,金錫合金陶瓷線路板在生產(chǎn)和使用中,也需要更加注重環(huán)保和節(jié)能。因此,在生產(chǎn)過程中采用環(huán)保材料和技術(shù),大力推廣綠色生產(chǎn)和綠色使用的理念,將成為未來發(fā)展的趨勢之一。

 應(yīng)用場景

金錫合金陶瓷線路板被廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域: 通信、 電子 航空航天、 汽車工業(yè)等

以上領(lǐng)域中,通信是金錫合金陶瓷線路板的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

金錫合金陶瓷線路板的主要競爭對(duì)手是NGK Spark Plug Co., Ltd.和CoorsTek, Inc.,市場規(guī)模預(yù)計(jì)將會(huì)增加。未來金錫合金陶瓷線路板需要具備高品質(zhì)、高集成度、低失真等多項(xiàng)特性,以滿足市場需求。金錫合金陶瓷線路板的主要應(yīng)用領(lǐng)域是通信領(lǐng)域。


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