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可與硅基光電子工藝平臺(tái)集成的新型材料

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發(fā)布時(shí)間: 2024-10-10 08:02

正文摘要:

引言 # n, e' x7 F) T+ n  R. P硅基光電子技術(shù)已成為集成光電子線路平臺(tái),利用半導(dǎo)體行業(yè)成熟的制造工藝。然而,硅的材料特性對(duì)主動(dòng)光電子功能施加了一些限制。本文探討了可與硅集成的新型材料,以實(shí)現(xiàn)下 ...

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