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無錫吉致電子供應(yīng)射頻濾波器拋光液/半導(dǎo)體拋光液/CMP化學(xué)拋光液

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發(fā)表于 2024-4-7 16:50:11 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
無錫吉致電子射頻濾波器拋光液適用于集成電路當(dāng)中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。
具有高的銅去除速率,碟型凹陷可調(diào),低缺陷等特性?蓱(yīng)用于邏輯芯片以及3D NAND和DRAM芯片等量產(chǎn)使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學(xué)物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。
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發(fā)表于 2024-4-7 16:51:39 | 只看該作者
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發(fā)表于 2024-4-7 16:50:52 | 只看該作者
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