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ESEC 銀漿機 wafer不復(fù)位，求大神指點

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樓主
發(fā)表于 2023-1-15 22:33:50 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
設(shè)備在作業(yè)時突然死機，被按急停后，重啟未復(fù)位時報黃警，復(fù)位后報紅警，求各位大神指點，拜托了; u2 _+ Q3 ^& O5 [# {) r

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