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引言本文探討了光電共封裝(CPO)技術(shù)在高速數(shù)據(jù)中心異構(gòu)集成領(lǐng)域的重要進(jìn)展。我們將介紹光學(xué)收發(fā)器的演變、CPO的基本原理,以及將光電子集成芯片(PIC)、電子集成線路(EIC)和專用集成線路(ASIC)集成到緊湊、高性能封裝中的各種方法[1]。8 c# @7 h7 ] U, t8 E! K
* {) ?+ s. y( Z! z' ^: @8 F光電共封裝簡介
5 G Z* U9 ?' `/ N" A光電共封裝是一種異構(gòu)集成封裝方法,將由光電子集成芯片(PIC)組成的光學(xué)引擎(OE)與由電子集成線路(EIC)和交換ASIC組成的電氣引擎(EE)相結(jié)合。CPO的主要優(yōu)勢包括:縮短OE/EE和ASIC之間的電氣接口長度降低信號驅(qū)動的能耗減少延遲,提高電氣性能[/ol]
& r& D% @/ E: \6 j1 A$ N) h為了理解CPO的重要性,我們需要追溯數(shù)據(jù)中心光學(xué)收發(fā)器的演變歷程。 i; p+ b; _( P+ i% N
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圖1展示了光學(xué)收發(fā)器技術(shù)的發(fā)展路線圖,從可插拔光學(xué)模塊到板載光學(xué)模塊(OBO)、近封裝光學(xué)模塊(NPO)和光電共封裝(CPO)。) Y0 f' u* Z+ v% U1 \
可插拔收發(fā)器(2000年至今)自2000年以來,SFP、QSFP及其變體等可插拔收發(fā)器在業(yè)界得到廣泛應(yīng)用。這些模塊安裝在印刷電路板(PCB)邊緣,ASIC則連接到封裝基板上。雖然用途廣泛,但PIC/EIC和ASIC之間的距離最長,導(dǎo)致功耗較高,電氣性能較低。! W( f. | \7 k- n
板載光學(xué)模塊(OBO)(2018年至今)OBO將收發(fā)器的關(guān)鍵組件(OE和EE)與封裝好的ASIC放置在同一PCB上,排列在ASIC四周。這種方法縮短了PIC/EIC和ASIC之間的距離,與可插拔收發(fā)器相比,功耗和電氣性能得到改善。: s' B% v' J2 x$ B& I5 j8 x
近封裝光學(xué)模塊(NPO)(2020年至今)NPO進(jìn)一步優(yōu)化了布局,將OE/EE放置在可選的光學(xué)基板上,與封裝好的ASIC并排放置在高性能基板上。這種配置消除了通過PCB的高速數(shù)據(jù)帶寬,提供了更好的功耗和電氣性能。光互聯(lián)論壇(OIF)正在開發(fā)超短距離(XSR)+電氣接口,以支持ASIC和光學(xué)元件之間長度達(dá)150毫米的NPO。5 i$ \' g: Q% @9 N9 H$ ?; a
光電共封裝(CPO)(2023年至今)CPO代表了最新進(jìn)展,將OE/EE(有或沒有光學(xué)基板)與ASIC芯片并排放置在同一共封裝基板的四個邊緣。這種配置實(shí)現(xiàn)了ASIC和PIC/EIC之間的最短距離,從而獲得最佳的電氣性能。根據(jù)OIF的標(biāo)準(zhǔn),CPO將OE/EE模塊和主ASIC限制在50毫米以內(nèi),通道損耗限制在10 dB。5 S7 _- r* J6 ~5 l5 v8 ]
異構(gòu)集成方法為了有效實(shí)現(xiàn)CPO,開發(fā)了各種異構(gòu)集成技術(shù)。這些方法可以大致分為2D和3D集成方法。
( o- n7 U* t [! R5 r- Q9 R6 J1 U2D異構(gòu)集成% t1 y' ]$ G" ^9 e" L
2D集成涉及將組件并排放置在公共基板上。可能有幾種配置:PIC和EIC在光學(xué)基板上,與ASIC并排放置在共封裝基板上PIC、EIC和ASIC在TSV互連層或有機(jī)互連層上PIC、EIC和ASIC在TSV互連層或有機(jī)互連層上,然后連接到封裝基板上
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: {5 ?2 u, _# T9 M. y- c3 h8 a圖2展示了ASIC、EIC和PIC在共封裝基板上的各種2D異構(gòu)集成方法。& T8 H- ?, l: E6 u" x$ D& b
' o, U) d* r' q, v+ o帶橋接的2D集成為了增強(qiáng)組件之間的連接,可以使用硅橋或嵌入式多芯片互連橋(EMIB):使用微凸點(diǎn)連接Chiplet(ASIC、EIC和PIC)的硅橋采用Cu-Cu無凸點(diǎn)混合鍵合的硅橋嵌入共封裝基板腔體中的英特爾EMIB[/ol]
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圖3展示了使用硅橋在共封裝基板上進(jìn)行ASIC、EIC和PIC的2D異構(gòu)集成。: L9 E' _% F0 F9 K' _
3D異構(gòu)集成3D集成涉及垂直堆疊組件,提供更高的密度和潛在的更好性能。PIC和EIC的各種3D集成方法包括:使用微凸點(diǎn)的正面對正面堆疊使用微凸點(diǎn)和硅通孔(TSV)的正面對背面堆疊無凸點(diǎn)Cu-Cu混合鍵合使用TSV互連層或有機(jī)互連層的堆疊[/ol]! U, h. p1 G6 h
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圖4展示了EIC和PIC的各種3D異構(gòu)集成技術(shù)。* v1 L/ B. S/ f, h, W0 d6 R8 }
ASIC、PIC和EIC的3D集成將PIC和EIC的3D集成與ASIC放置相結(jié)合,形成了幾種CPO配置:3D堆疊的PIC和EIC在光學(xué)基板上,與ASIC并排放置在共封裝基板上3D堆疊的PIC和EIC與ASIC在TSV互連層或有機(jī)互連層上3D堆疊的PIC和EIC與ASIC在TSV互連層或有機(jī)互連層上,連接到封裝基板上
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圖5展示了ASIC、EIC和PIC的3D異構(gòu)集成方法。; ^; {, V/ u9 B: U
先進(jìn)的CPO配置隨著數(shù)據(jù)中心交換機(jī)從25.6 Tbit/s發(fā)展到51.2 Tbit/s,對更緊湊、更高效的CPO解決方案的需求變得越來越重要。兩種創(chuàng)新方法解決了這一挑戰(zhàn):
) [" v. ]3 ~7 t; O1 o1. 使用混合鍵合的堆疊PIC和EIC
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圖6展示了使用PIC和EIC的3D堆疊和混合鍵合的51.2 Tbit/s交換機(jī)的光電共封裝方法。
) U' a" \0 C2 j0 t4 s2. 使用有機(jī)互連層的堆疊PIC和EIC5 D, P9 R1 S" }& f
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圖7展示了另一種使用有機(jī)互連層堆疊PIC和EIC的51.2 Tbit/s交換機(jī)的光電共封裝方法。
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# ~# m' j/ r' v. z. p帶橋接的3D集成將3D集成技術(shù)與橋接技術(shù)相結(jié)合提供了額外的優(yōu)勢:通過硅橋連接到ASIC的3D堆疊PIC和EIC使用英特爾EMIB的3D堆疊PIC和EIC與ASIC使用嵌入扇出型有機(jī)互連層的硅橋的3D堆疊PIC和EIC與ASIC[/ol]
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圖8展示了在共封裝基板上使用硅橋進(jìn)行ASIC、EIC和PIC的3D異構(gòu)集成。
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玻璃基板:下一個前沿英特爾最近宣布的下一代高功率處理器玻璃基板技術(shù)引起了業(yè)界的興趣。與有機(jī)基板相比,玻璃基板具有以下優(yōu)勢:表面更光滑、更平坦能夠集成用于光傳輸?shù)牟▽?dǎo)優(yōu)越的光學(xué)性能更好的熱穩(wěn)定性、機(jī)械穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性更高的互連密度改善信號速度、功率傳輸和設(shè)計(jì)規(guī)則[/ol]3 b& A; U8 L! M) d
然而,玻璃基板也帶來了挑戰(zhàn),包括更高的生產(chǎn)成本、初期良率問題以及建立可行的商業(yè)生產(chǎn)生態(tài)系統(tǒng)的需求。$ Q$ i* u2 R+ C6 N1 U; R
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: [0 I4 B, G( f; [1 i圖9展示了使用玻璃互連層進(jìn)行EIC和PIC的3D異構(gòu)集成。
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" r8 J6 p8 ]1 a } t1 ^' `" j圖10展示了使用玻璃互連層在共封裝基板上進(jìn)行ASIC、EIC和PIC的3D異構(gòu)集成。( m- k. c' A9 I5 @) B" c' t5 Z
基于玻璃互連層的CPO的組裝過程包括以下幾個步驟:在玻璃基板上蝕刻腔體并創(chuàng)建穿透玻璃通孔(TGV)使用芯片附著和保持裝置將PIC放置在腔體中用模塑樹脂填充間隙制造重分布層(RDL)和玻璃波導(dǎo)組裝光纖耦合器和光纖在EIC和PIC之間進(jìn)行微凸點(diǎn)鍵合或Cu-Cu混合鍵合[/ol]
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圖11概述了使用玻璃互連層在共封裝基板上制造ASIC、EIC和PIC的3D異構(gòu)集成的過程。
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2 i) {2 S3 ~) u% v% \& S結(jié)論光電共封裝代表了高速數(shù)據(jù)中心異構(gòu)集成技術(shù)的重大進(jìn)步。通過將光電和電子組件組合成緊湊、高效的封裝,CPO與傳統(tǒng)的可插拔收發(fā)器相比,提供了更好的性能、更低的功耗和更低的延遲。
# m" @6 x" [. M7 x$ H( F( F隨著數(shù)據(jù)中心交換機(jī)的不斷發(fā)展,3D堆疊、硅橋和玻璃基板等創(chuàng)新集成技術(shù)將在滿足下一代系統(tǒng)需求方面發(fā)揮關(guān)鍵作用。從25.6 Tbit/s到51.2 Tbit/s交換機(jī)的發(fā)展需要更復(fù)雜的封裝解決方案,推動了先進(jìn)CPO配置的發(fā)展。
3 T9 ^3 U U* \# k盡管仍然存在挑戰(zhàn),特別是在采用玻璃基板方面,但CPO的潛在優(yōu)勢是巨大的。隨著業(yè)界不斷完善這些技術(shù),我們可以期待數(shù)據(jù)中心性能、效率和可擴(kuò)展性的進(jìn)一步提高。
/ b3 } `% B: ]! K; {& a光電共封裝的未來在于成功集成多種技術(shù),包括先進(jìn)材料、3D集成技術(shù)和新型互連解決方案。隨著研究人員和工程師繼續(xù)推動可能性的界限,CPO無疑將在塑造下一代高速、高性能數(shù)據(jù)中心方面發(fā)揮關(guān)鍵作用。, y( a/ {6 [/ y! e2 Z
參考文獻(xiàn)[1]J. H. Lau, "Co-packaged Optics," in Flip Chip, Hybrid Bonding, Fan-In, and Fan-Out Technology. Singapore: Springer Nature Singapore Pte Ltd., 2024, ch. 6, pp. 471-491.
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深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。
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