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流量控制器MFC2000在單晶爐設(shè)備的半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用

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發(fā)表于 2024-10-25 09:37:09 | 只看該作者 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
單晶硅爐,也稱全自動(dòng)直拉單晶生長爐,是一種在惰性氣體(氮?dú)、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備,將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進(jìn)行高溫熔化(1450℃以上),在低真空度和氬氣保護(hù)下,通過紫晶插入多晶硅熔體后,在紫晶周圍形成過冷態(tài)并進(jìn)行有規(guī)律生長,形成一根單晶棒體。由主機(jī)、加熱電源和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)三大部分組成。  Q, d4 {" _( o% _8 g
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6 F  A# b2 s2 ~+ T- v- J7 }直拉單晶爐可以用于生產(chǎn)硅、鎵、鍺等半導(dǎo)體材料的單晶,這些單晶材料被廣泛應(yīng)用于集成電路、太陽能電池和光電器件等領(lǐng)域。8 g1 S# ^% }, ^1 ^2 T: I: h1 ?
(1)光伏行業(yè)發(fā)展:隨著全球?qū)稍偕茉吹男枨笤黾,光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。單晶爐作為光伏產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備,其市場需求將持續(xù)增長。- d" j# `# `& G  Z' }& D/ x' A
(2)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā):隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體市場需求也在增加。單晶爐在半導(dǎo)體工業(yè)中起著關(guān)鍵作用。通過生長單晶硅棒,可以制備出高純度的硅單晶片,進(jìn)而用于制造集成電路(IC)和其他半導(dǎo)體器件,如太陽能電池、光電二極管等。單晶爐也被廣泛應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域,可以制備出高質(zhì)量的光學(xué)元件,如激光晶體、光纖、光學(xué)窗口等,用于激光器、光通信、光學(xué)儀器等領(lǐng)域。+ b7 C, t% f2 j2 V4 A8 o3 W
其中單晶爐及晶爐設(shè)備是需要在惰性氣體(氮?dú)、氦氣為主)環(huán)境中工作,需要很核心的器件流量控制器,去控制設(shè)備中的氣體需求量。5 X9 I* {, _4 w( M
質(zhì)量流量控制器MFC不僅能測量氣體的流量,具備流量計(jì)的功能,其測量值不因 壓力或溫度的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要進(jìn)行壓力溫度修正;而且它還可以控制流量,本身具有檢測控制電路和流量調(diào)節(jié)閥,是一個(gè)閉環(huán)控制單元。用戶可以根據(jù)需要在量 程范圍內(nèi)任意給定流量設(shè)定值,質(zhì)量流量控制器可以在輸入的氬氣壓力或環(huán)境溫度 發(fā)生變化時(shí),自動(dòng)跟蹤設(shè)定值而改變流量并穩(wěn)定在設(shè)定值上,保證輸送的氬氣流量不產(chǎn)生波動(dòng),從而穩(wěn)定單晶爐爐內(nèi)的真空度在2.6 kPa左右。
6 p0 a' V( j! Q8 Y下面來自工采傳感(ISWEEK)代理**SIARGO的一款高精度,量程范圍寬可選的流量控制器MFC2000系列。
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MFC2000系列質(zhì)量流量控制器采用公司專有的MEMS Thermal-D操作"“熱量傳感技術(shù)與智能控制電子設(shè)備,這種獨(dú)特的質(zhì)量流量傳感技術(shù)消除了一些擴(kuò)散率相似的氣體的氣體敏感性,并允許在編程后進(jìn)行氣體識(shí)別。本產(chǎn)品可用干動(dòng)態(tài)范圍為100:1的過程控制,其控制范圍為0.1至0.8MPa(15至120 PSL)的壓力和0至50℃的補(bǔ)償溫度。量程在50mL/min到200L/min不同范圍可選,帶有數(shù)字RS485 Modbus通信和模擬輸出。
" i+ A4 ^$ r7 Z! S6 x9 b. m該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)便于更換機(jī)械連接器,標(biāo)準(zhǔn)連接器可選雙卡套、VCR或UNF,其他定制連接器可根據(jù)要求**。
0 S* s! h; j& C0 o  O1 rSIARGO的MFC2000流量控制器在CVD設(shè)備中具有很重要的作用,可以精準(zhǔn)測量和控制氣體的大小,可以很好的實(shí)現(xiàn)在高溫度、高精度、高分辨中使單晶棒體的高純度生長。" I$ l4 U, E6 }; [7 P1 r

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