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Nanophotonics | 半導(dǎo)體芯光纖:非線性光電子技術(shù)的新平臺(tái)

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引言半導(dǎo)體芯光纖正在成為非線性光電子應(yīng)用的新平臺(tái)。通過將半導(dǎo)體的緊密光束限制和高非線性折射率與光纖的靈活性和穩(wěn)健性相結(jié)合,這些混合結(jié)構(gòu)為寬波長范圍內(nèi)的非線性光學(xué)處理開辟了新的可能性。本文將概述半導(dǎo)體芯光纖的制造、表征和應(yīng)用,重點(diǎn)關(guān)注非線性光電子技術(shù)的應(yīng)用。* {. c$ K+ A! u0 S

+ j4 R# c& R5 X' G制造方法
" K1 X1 n" ?! {) P5 H5 F3 V制造半導(dǎo)體芯光纖的主要方法是熔芯拉絲技術(shù)(MCD)。在這個(gè)過程中,將半導(dǎo)體材料放置在玻璃管預(yù)制件內(nèi),然后使用傳統(tǒng)的光纖拉絲塔加熱并拉成光纖。當(dāng)預(yù)制件被加熱時(shí),半導(dǎo)體芯熔化,而玻璃包層變得粘稠,使兩種材料能夠被共同拉制成光纖幾何結(jié)構(gòu)。
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( B  r2 V, F+ o+ W9 M& o' z1 c* H' n3 y圖1:制造半導(dǎo)體芯光纖的熔芯拉絲方法示意圖。0 ]6 a9 q  j# E" p& a8 o

0 N, h$ d5 u& @" c  }' BMCD技術(shù)允許大規(guī)模生產(chǎn)長度的半導(dǎo)體芯光纖。然而,高拉絲溫度可能導(dǎo)致一些挑戰(zhàn),包括包層材料向芯擴(kuò)散和形成多晶芯。為解決這些問題,開發(fā)了各種后處理技術(shù)。9 U8 r5 ?/ Z3 A7 E
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后處理技術(shù)使用兩種關(guān)鍵的后處理方法來改善已拉制半導(dǎo)體芯光纖的質(zhì)量并調(diào)整其性能:
/ p' r* X- y  j' v& {激光處理:使用聚焦激光束局部加熱、熔化和重結(jié)晶半導(dǎo)體芯。這可以改善結(jié)晶度,減少缺陷,并允許對芯的性能進(jìn)行空間變化的修改。* G% J3 ]% d4 `6 w$ V6 L  x
錐化:局部加熱并拉伸光纖以減小其直徑。這允許精確控制芯的尺寸,并可以顯著改變光學(xué)性能。' }9 `0 ?1 K6 a3 A- k: a
[/ol]
' M! V2 a4 e2 B& B8 w  K' @這些后處理技術(shù)對于減少傳輸損耗和調(diào)整半導(dǎo)體芯光纖的色散性能以用于非線性應(yīng)用非常重要。4 b0 a" V8 E" E  o' v: A& B6 T" n

2 z- Y" N% Z- j, W( x, |7 L" E4 _
9 |- z' P! F* s+ x2 ~圖2:后處理技術(shù)示意圖:(左)激光處理和(右)半導(dǎo)體芯光纖的錐化。
! R9 H) \7 e! ?& s5 e3 K% t. Z2 {! ~% p3 I
這些后處理技術(shù)對于減少傳輸損耗和調(diào)整半導(dǎo)體芯光纖的色散性能以用于非線性應(yīng)用非常重要。  o. f: M* B% o( j4 }7 [8 Q

' A, ^" }9 N, {! Z% [* @' C1 X* j/ v" }光學(xué)表征半導(dǎo)體芯光纖的光學(xué)性能強(qiáng)烈依賴于芯材料、尺寸和處理。硅芯光纖已經(jīng)被廣泛研究,通過仔細(xì)的錐化處理,在電信波長下實(shí)現(xiàn)了低至0.8 dB/cm的損耗。1 b% |0 w2 T3 a- g5 U
( m5 }7 q. x( `+ U4 ?
通過控制芯直徑可以調(diào)整色散性能。圖3顯示了硅芯光纖的群速度色散和有效模場面積如何隨芯尺寸變化。) a. X# t! J2 `, D! k" `, \" h

/ F0 j0 f) a9 |- v$ q圖3:硅芯光纖的群速度色散(GVD)和有效模場面積(Aeff)隨芯直徑的變化。# m! J( u4 q. Z; `6 e

) E; N' g1 U4 a- t8 t' ?" b! H& k7 J非線性光學(xué)應(yīng)用半導(dǎo)體芯光纖的高非線性和可調(diào)色散使其適用于各種非線性光學(xué)應(yīng)用:
( Z: [. o6 a  A7 _9 Z- \/ @四波混頻(FWM):在硅芯光纖中已經(jīng)演示了FWM用于參量放大和波長轉(zhuǎn)換。使用僅0.63 mW平均泵浦功率在電信波段實(shí)現(xiàn)了9 dB的凈參量增益。
1 I' P7 A& j' s9 N拉曼散射:在硅芯光纖中觀察到了受激拉曼散射,使用2 μm泵浦在中紅外區(qū)域?qū)崿F(xiàn)了高達(dá)3.7 dB的增益。/ |) J2 M4 t1 |) V5 G, t
超連續(xù)譜生成:在錐化的硅芯光纖中,使用3 μm泵浦生成了跨度從1.6到5.3 μm的寬廣超連續(xù)譜。( H  L% r8 ]1 w( M. A. f9 A
二次諧波生成:雖然大多數(shù)工作集中在硅上,但ZnSe芯光纖已被用于演示二次諧波生成,用于電信信號的倍頻。, n3 d6 Q. f7 V/ E
[/ol]  a+ ?! }7 f7 R; j) j9 ^+ i) r
. K- C0 o: A4 [
圖4:半導(dǎo)體芯光纖中演示的非線性應(yīng)用示例:(a) 四波混頻,(b) 拉曼散射,(c) 超連續(xù)譜生成,和 (d) 二次諧波生成。' `7 c( [) L; K0 S+ y9 [0 S5 B) I

/ |3 S, X: l9 P9 k未來展望
( X8 g! ]! @0 v在開發(fā)用于非線性光電子技術(shù)的半導(dǎo)體芯光纖方面取得了重大進(jìn)展,但仍有幾個(gè)未來發(fā)展的領(lǐng)域:
  • 新材料:超越硅,擴(kuò)展到其他半導(dǎo)體如GaAs或ZnSe可能實(shí)現(xiàn)新功能,特別是對于二階非線性效應(yīng)。
  • 改進(jìn)制造:進(jìn)一步減少損耗并提高結(jié)晶質(zhì)量將增強(qiáng)非線性應(yīng)用的性能。
  • 集成:開發(fā)與標(biāo)準(zhǔn)光纖的穩(wěn)健耦合方法對于半導(dǎo)體芯光纖器件的實(shí)際部署非常必要。
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    ! G8 z- W# h7 K0 i0 A% J* y ; k2 `: {6 i' a- O  M; V  x7 @+ \# f
    圖5:半導(dǎo)體芯光纖與標(biāo)準(zhǔn)單模光纖(SMF)集成的概念,用于實(shí)際器件實(shí)現(xiàn)。
    * r6 A2 n$ E7 i9 S+ T! q: O( r5 v( Z7 X4 l) ^4 S1 z
    結(jié)論: b" l2 o5 r: f/ g0 [
    半導(dǎo)體芯光纖代表了值得期待的新平臺(tái),結(jié)合了半導(dǎo)體的高非線性和光纖的靈活性。通過制造和后處理技術(shù)的進(jìn)步,這些光纖正在成為一項(xiàng)可行的技術(shù),用于跨越近紅外到中紅外的非線性光電子應(yīng)用。隨著制造方法的改進(jìn)和新材料的探索,半導(dǎo)體芯光纖有望實(shí)現(xiàn)新型非線性光學(xué)器件和系統(tǒng),彌合傳統(tǒng)光纖和光電子集成線路之間的差距。
    ; j& v: F3 g7 d+ A" _; P  r: U
    ) a; g' T2 F0 @+ \參考文獻(xiàn)
    - h; N  ~6 B5 K" \, d2 h[1] M. Huang, J. Ballato, and A. C. Peacock, "Semiconductor core fibres: a scalable platform for nonlinear photonics," npj Nanophotonics, vol. 1, no. 21, pp. 1-12, 2024, doi: 10.1038/s44310-024-00026-5.
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    . s) M( [. @7 f' |! Z! Z/ N2 Y關(guān)于我們:
    5 v% q8 z6 j" t3 V9 E3 V- J深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計(jì)和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計(jì)解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機(jī)電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計(jì)與仿真。我們提供特色工藝的半導(dǎo)體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務(wù),廣泛服務(wù)于光通訊、光計(jì)算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動(dòng)特色工藝半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務(wù)。" W3 y. k* J* Q/ v2 `
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